供應(yīng)石墨半導(dǎo)體離子注入等離子蝕刻用石墨制品
發(fā)布時(shí)間：2024-11-6 15:23:57 關(guān)注度：5
離子注入用石墨，細(xì)顆粒高密度的石墨顯示出很高的耐腐蝕性，即便是在十分惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是這樣。2.由于離子束的原因，金屬配件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)導(dǎo)致高的損耗，故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。3.我司采用德國西格里石墨，不單可為各種離子注入機(jī)提供石墨屏蔽罩，且提供各種規(guī)格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。4.即便在離子轟擊或等離子等極限工作條件下，細(xì)粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設(shè)備的金屬配件要接觸離子束，磨損嚴(yán)重，可選擇合適的石墨擋板進(jìn)行保護(hù)。我司不單提供石墨擋板，還提供適合于各種注入機(jī)的電極和離子源，這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和高純度的亮點(diǎn)。
