長期供應石墨半導體離子注入等離子蝕刻用石墨制品
發布時間:2024-10-16 10:13:55 關注度:5
1.離子注入用石墨,細顆粒高密度的石墨呈現出很高的耐腐蝕性,即便是在非常惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)亦是如此。2.由于離子束的原因,金屬部件暴露在離子注入設備中會導致高的損失,故此時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。3.我司采用德國西格里石墨,不單能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩,且提供規格不同具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。4.即便在離子轟擊或等離子等極限工作條件下,細粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設備的金屬部件要接觸離子束,磨損嚴重,可以采用合適的石墨擋板進行保護。我司不單提供石墨擋板,還提供適合于各種注入機的電極和離子源,這些石墨產品都具有耐腐蝕和高純度的特性。